碳?xì)涑暡ㄇ逑礄C(jī)按照工件搬運(yùn)的自動(dòng)化程度可分為全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)；按照清洗槽的數(shù)量可分為單槽機(jī)、雙槽機(jī)、多槽機(jī)等；按照清洗工件體積可分為大型機(jī)、中型機(jī)和小型機(jī)；按照蒸餾裝置與清洗裝置的結(jié)合方式可分為一體式和分離式，按照清洗對(duì)象還有電鍍、熱處理、卷材清洗機(jī)。根據(jù)真空清洗干燥機(jī)各部分的作用，可分為清洗系統(tǒng)、干燥系統(tǒng)、蒸餾再生系統(tǒng)、輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安全輔助裝置幾部分。近些經(jīng)過(guò)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家經(jīng)過(guò)多年的研究開(kāi)發(fā)，使真空清洗干燥機(jī)的技術(shù)水平逐步提高，功能不斷完善，洗凈力大幅度提高、成本進(jìn)一步下降、可以滿足更多客戶(hù)的清洗要求，從而使碳?xì)淝逑醇夹g(shù)日臻成熟，被越來(lái)越多的客戶(hù)所認(rèn)同，在替代ODS和有害清洗溶劑中發(fā)揮了巨大作用。

碳?xì)涑暡ㄇ逑礄C(jī)主要由超聲波發(fā)生器，超聲波換能器，清洗槽，真空干燥系統(tǒng)，蒸餾回收槽，循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，分水系統(tǒng)，自動(dòng)控溫加熱系統(tǒng)，地盤(pán)及機(jī)架，進(jìn)出料輸送系統(tǒng)，輕型多臂機(jī)械手，抽排系統(tǒng)，全封閉外罩，觀察窗和控制系統(tǒng)組成。

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